微机电系统（MEMS）光开关

MEMS光开关是则不依赖于物理元件的移动，而是利用物理效应（如电光效应、磁光效应、热光效应等）来改变波导的折射率或光的偏振态，从而控制光路的通断。MEMS光开关原理十分简单，当进行光交换时，通过静电力或磁电力的驱动，移动或改变MEMS微镜的角度，把输入光切换到光开关的不同输出端以实现光路的切换及通断。MEMS 是指一种在半导体材料(如Si)上制作微机械结构的集成艺。华瑞高可提供1XN / MXN的MEMS光开关，如下所示：

2. 机械式光开关与微机电光开关的优缺点

在选择机械式光开关与微机电光开关时，需要根据具体的应用场景和需求进行权衡。如果应用场景对开关速度要求不高，且对成本和体积有一定限制，那么机械式光开关可能是一个更好的选择。而如果应用场景需要快速切换光信号，且对集成度和稳定性有较高要求，那么微机电光开关可能更合适。

3. 光开关的基本形式和连接状态

光开关（Optical Switching, OS）基本的形式是2×2，即入端和出端各有两条光纤。这种结构的光开关可以完成两种基本的连接状态：

平行连接

在这种状态下，输入端的光纤与输出端的光纤保持一一对应的连接关系，即输入端的第一条光纤与输出端的第一条光纤相连，输入端的第二条光纤与输出端的第二条光纤相连。

交叉连接

在这种状态下，输入端的光纤与输出端的光纤交叉相连，即输入端的第一条光纤与输出端的第二条光纤相连，输入端的第二条光纤与输出端的第一条光纤相连。

4. MEMS光开关较其他光开关具有明显优势

✴ 开关时间一般在ms数量级；

✴ 使用了IC制造技术，体积小、集成度高；

✴ 工作方式与光信号的格式、协议、波长、传输方向、偏振方向、调制方式均无关，可以处理任意波长的光信号；

✴ 同时具备了机械式光开关的低插损、低串扰、低偏振敏感性、高消光比和波导开关的高开关速度、小体积、易于大规模集成的优点。

5. 应用场景